易度智能MC100系列，是一款高性能低漂移量氣體質(zhì)量流量控制器，具有極低的溫度漂移和壓力漂移量，可以確保產(chǎn)品長(zhǎng)期使用的穩(wěn)定性和可靠性，減少維護(hù)、調(diào)試、校準(zhǔn)的頻率，降低客戶(hù)維護(hù)成本。

特征：

l 原理：層流壓差式原理

l 便捷操作：提供上位機(jī)軟件設(shè)定流量。

l 核心優(yōu)勢(shì)：低漂移量，高穩(wěn)定性和可靠性，抗氣源波動(dòng)能力強(qiáng)

l 寬溫度、寬壓力適用范圍：-20℃~60℃、1Mpa以?xún)?nèi)

l 實(shí)時(shí)顯示4種過(guò)程變量

l 內(nèi)置60多種氣體，自由切換氣體，無(wú)需查找、輸入系數(shù)，并可自主編輯混合氣體

l 無(wú)需預(yù)熱時(shí)間，開(kāi)機(jī)即可使用，即插即用。

l 可切換為流量計(jì)模式使用

產(chǎn)品規(guī)格：

l 產(chǎn)品型號(hào)：MC100

l 量程范圍：0.5sccm~550slpm

l 閥門(mén)種類(lèi)：N/C（常閉型）

性能參數(shù)：

l 精度：±1.0%S.P.(設(shè)定值)(20%～100%量程范圍)   ±0.2%F.S.(滿(mǎn)量程)(1%～10%量程范圍)

l 重復(fù)精度：±0.2%F.S.

l 壓力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa；    Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基準(zhǔn)100kPa(絕壓))

l 溫度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃；             Span：≤±0.02%F.S./℃（基準(zhǔn)溫度25℃）

l 零點(diǎn)漂移：±0.2%F.S./年

l 工作范圍：1%~100%F.S.

l 響應(yīng)時(shí)間：≤700ms.

l 啟動(dòng)預(yù)熱時(shí)間：1s

使用條件：

l 介質(zhì)溫度：-20℃~60℃

l 環(huán)境溫度：-20℃~50℃

l 使用濕度：0%~98%（無(wú)冷凝）

l 工作壓力：0~1Mpa

l 耐壓：1.5Mpa

l 工作壓差范圍：100kPa~800kPa

l 供電電壓：24V±20%

l 消耗電流：＜500mA （＜12V）

l 安裝方式：任意角度

l 接氣部材質(zhì)：SUS316L

l 進(jìn)出口：管螺紋（內(nèi)螺紋）

l 接氣部密封材質(zhì)：橡膠圈密封：氟橡膠

通訊方式：

l 數(shù)字信號(hào)：RS485，Profibus

l 模擬信號(hào)：4-20mA，0-5V

應(yīng)用場(chǎng)景

l 標(biāo)定臺(tái)系統(tǒng)搭建中的流量控制設(shè)備

l 需要大范圍調(diào)整流量的流控系統(tǒng)或設(shè)備集成

l 簡(jiǎn)化集成設(shè)備或?qū)υO(shè)備體積敏感的場(chǎng)景

l 需要調(diào)控比較大流量的實(shí)驗(yàn)研究場(chǎng)合

MC100高性能低漂移量氣體質(zhì)量流量控制器在于具有高精度的溫度和壓力傳感器，確保產(chǎn)品具有極低的溫度和壓力漂移量，對(duì)于用戶(hù)來(lái)講，長(zhǎng)期使用依然可以保證產(chǎn)品具有很高的準(zhǔn)確度和重復(fù)性，確保用戶(hù)整機(jī)流量測(cè)控的穩(wěn)定性和可靠性，減少用戶(hù)維護(hù)成本。