1： 流量術語

體積流量：也叫工況流量，即單位時間內實時溫度和壓力下流體流過管道橫截面的體積。小流量的代表單位一般為：ml/min和L/min。

標況流量：通過溫度、壓力補償后得到的體積流量。標況一般定義（1）壓力：1個大氣壓（101.325KPa）（2）溫度：0℃/15℃/20℃/25℃，具體溫度定義可自選。易度流量控制器默認(25℃,101.325KPa)，單位一般為：SCCM和SLPM 。

質量流量：單位時間內流體流過管道橫截面的質量 。易度質量流量控制器測量出的是標況流量，需要計算氣體實際質量時，可用密度乘以標況流量即可得出。

瞬時流量：當時間很短時，流體流過一定截面的量稱為瞬時流量。                                                

累計流量：氣體通過某一截面的瞬時流量在一定時間內的累積值。

設定流量：質量流量控制器專用術語，MFC通過控制比例調節(jié)閥的開度使得流體流量穩(wěn)定在某一固定流量值，設定流量一般為標況流量。

2 ：工況術語

工作溫度：包括被測介質溫度和使用環(huán)境溫度。易度質量流量控制器適用溫度范圍為：-50℃到110℃（介質）。

工作壓力：指流經質量流量計/質量流量控制器時，被測氣體的絕對靜壓。易度質量流量控制器適用工作壓力一般為1MPa以下，最大不能超過3MPa。壓力單位一般為：MPa、KPa、

Pa、Psi，易度產品可自如切換。

耐壓：質量流量計/質量流量控制器在不損壞的情況下所能承受的最大壓力，易度質量流量控制器一般可承受的壓力為1MPa,最大2.5MPa。

壓差：氣體流經管路高壓端與低壓端的壓強差。

壓損：氣體流經質量流量計/質量流量控制器而產生的不可恢復的壓力降。易度質量流量計標準型號壓損為4KPa,最小可達400Pa。

預熱時間：主要針對熱式質量流量控制器，是指加熱金屬絲達到溫度穩(wěn)定的時間。易度質量流量控制器無需預熱，可直接使用。

通訊方式：質量流量計/質量流量控制器與配套設備控制系統(tǒng)之間的通訊，常用的有模擬信號和數(shù)字信號。易度質量流量計/質量流量控制器通訊方式可選：模擬信號(4-20)mA、(0-5)V，數(shù)字信號RS485、Profibus等。

管路連接：質量流量計/質量流量控制器與管路的連接方式，根據(jù)管路材質（軟管、金屬硬管等）和管路內外徑尺寸，可選卡套接頭、VCR接頭、快插接頭、快擰接頭等。

介質：被測氣體的種類，易度質量流量計/質量流量控制器可測量單一純凈氣體，或明確氣體種類和比例的混合氣體。若為強腐蝕氣體，建議選用耐腐蝕型號。若為易燃易爆氣體，建議選用防爆型號。

3： 性能術語

量程：質量流量計/質量流量控制器可測得的最大流量，易度質量流量控制器量程范圍：從0.5sccm到5000slpm。

量程比：質量流量計/質量流量控制器能夠測量控制的最大流量和最小流量比值，易度質量流量控制器標準型量程比為100:1，也可定制更寬量程比。

精度：質量流量計/質量流量控制器測得的標況流量顯示值與標準裝置流量值的誤差比。易度質量流量控制器的精度為±1%S.P(設定值精度），最高可達±0.5%S.P(設定值精度）。

精度保證范圍：保證質量流量計/質量流量控制器精度的氣體流量范圍，易度質量流量控制器標準型號為：20%-100%F.S（滿量程），寬量程型可達10%-100%F.S（滿量程）。

重復性：在同一工作條件下，質量流量計/質量流量控制器對同一輸入值按同一方向連續(xù)多次測量的輸出之間的相互一致程度，也叫重復性誤差，易度質量流量控制器重復性可達±0.2%/F.S(滿量程）。

可靠性：質量流量計/質量流量控制器在一定時間內、在一定條件下地執(zhí)行功能的能力或可能性。

響應時間：質量流量計/質量流量控制器接通電源后至其達到規(guī)定性能指標所需的時間，易度質量流量控制器具有毫秒級響應速度。

抗電磁干擾：電磁干擾是干擾電纜信號并降低信號完好性的現(xiàn)象，會造成流量計精度損失，特別是射頻電源對模擬信號的干擾現(xiàn)象尤為明顯，易度質量流量控制器抗電磁干擾能力強，經西安高壓電器研究所抗電磁干擾檢測認證。